無塵凈化車間能夠分為如下幾個(gè)級(jí)別：1級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、30萬級(jí)、百萬級(jí)。

    每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)目控制在3500個(gè)如下，就達(dá)到了國際無塵規(guī)范的A級(jí)。當(dāng)前使用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵規(guī)范對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被使用在少許等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)目被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)之內(nèi)，這也即是業(yè)內(nèi)俗稱級(jí)別中的千級(jí)。